PVD和CVD涂层要领
涂层要领 现在生产上常用的涂层要领有两种:物理气相沉积(PVD) 法和化学气相沉积(CVD) 法。。。。。
PVD(Physical Vapor Deposition)---物理气相沉积:指使用物理历程实现物质转移,,,,,将原子或分子由源转移到基材外貌上的历程。。。。。它的作用是可以使某些有特殊性能(强度高、耐磨性、散热性、耐腐性等)的微粒喷涂在性能较低的母体上,,,,,使得母体具有更好的性能。。。。。 PVD基本要领:真空蒸发、溅射 、离子镀(空心阴极离子镀、热阴极离子镀、电弧离子镀、活性反映离子镀、射频离子镀、直流放电离子镀)。。。。。
CVD SiC涂层就是接纳化学气相沉积(CVD)要领制备SiC涂层。。。。。
前者沉积温度为500℃,,,,,涂层厚度为2~5?m;;后者的沉积温度为900℃~1100℃,,,,,涂层厚度可达5~10?m,,,,,并且装备简朴,,,,,涂层匀称。。。。。因PVD法未凌驾高速钢自己的回火温度,,,,,故高速钢刀具一般接纳PVD法,,,,,硬质合金大多接纳CVD法。。。。。硬质合金用CVD法涂层时,,,,,由于其沉积温度高,,,,,故涂层与基体之间容易形成一层脆性的脱碳层(η相),,,,,导致刀片脆性破碎。。。。。
近十几年来,,,,,随着涂覆手艺的前进,,,,,硬质合金也可接纳PVD法。。。。。外洋还用PVD/CVD相连系的手艺,,,,,开发了复合的涂层工艺,,,,,称为PACVD法(等离子体化学气相沉积法)。。。。。即使用等离子体来增进化学反映,,,,,可把涂覆温度降至400℃以下(现在涂覆温度已可降至180℃~200℃),,,,,使硬质合金基体与涂层质料之间不会爆发扩散、相变或交流反映,,,,,可坚持刀片原有的韧性。。。。。据报道,,,,,这种要领对涂覆金刚石和立方氮化硼(CBN)超硬涂层特殊有用。。。。。 用CVD法涂层时,,,,,切削刃需预先举行钝化处理(钝圆半径一般为0.02~0.08mm,,,,,切削刃强度随钝圆半径增大而提高),,,,,故刃口没有未涂层刀片尖锐。。。。。以是,,,,,对精加工爆发薄切屑、要求切削刃尖锐的刀具应接纳PVD法。。。。。
涂层除可涂覆在通俗切削刀片上外,,,,,还可涂覆到整体刀具上,,,,,现在已生长到涂覆在焊的硬质合金刀具上。。。。。据报道,,,,,外洋某公司在焊接式的硬质合金钻头上接纳了PCVD法,,,,,效果使加工钢料时的钻头寿命比高速钢钻头长10倍,,,,,效率提高5倍。。。。。
涂层成份又有哪些呢???各自的区别在那里,,,,,应用面怎样。。。。。
通常使用的涂层有:TiC、TiN、Ti(C.N)、Gr7O3、Al2O3等。。。。。以上几种CVD的硬质涂层基本具备低的滑动摩擦系数,,,,,高的抗磨能力,,,,,高的抗接触疲劳能力,,,,,高的外貌强度,,,,,包管外貌具有足够的尺寸稳固性与基体之间有高的粘附强度。。。。。
PVD与CVD涂层工艺较量
PVD与CVD涂层工艺较量 |
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沉积温度 |
涂层厚度 |
涂层外貌 |
主要涂层 |
涂层 |
对情形 |
主要应用领域 |
物 |
500℃或更低,,,,, |
2~5μm, |
|
TiN |
低 |
无污染 |
1.高速钢通用刀具:钻头、丝锥、立铣刀。。。。。 |
化学 |
1000℃,,,,, |
5~20μm |
涂层为拉应力,,,,,易天生裂痕;;刃口必需作钝化处理;;外貌较粗糙。。。。。 |
TiN |
高 |
倾轧的废气对情形 |
1.硬质合金可转为刀片:车刀片、铣刀片等。。。。。 |
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