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1.2 ÄÉÃ×¼¶¹ýÂ˵ÄÊÖÒÕÌôÕ½

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2.1 ÕÛµþÂËоµÄ½á¹¹Éè¼Æ

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2.2 ÕÛµþÂËоµÄ¹ýÂË»úÖÆ

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2.3 ÕÛµþÂËоµÄÓÅÊÆ

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3.1.2 ²úÆ·²ÎÊý

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3.2 ÏÔÊ¾Ãæ°åÖÆÔì

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3.2.1 Ó¦Óó¡¾°

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3.2.2 ²úÆ·²ÎÊý

²ÎÊý ÊýÖµ
¹ýÂËЧÂÊ ¡Ý99.99% (¶Ô0.3¦Ìm¿ÅÁ£)
³õʼѹ½µ ¡Ü30 Pa
ʹÓÃÊÙÃü ¡Ý9¸öÔÂ

3.3 ¹â·üÖÆÔì

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3.3.1 Ó¦Óó¡¾°

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3.3.2 ²úÆ·²ÎÊý

²ÎÊý ÊýÖµ
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ËÄ¡¢ÕÛµþÂËоµÄÊÖÒÕÉú³¤Ç÷ÊÆ

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4.2 ÖÇÄÜ»¯¹ýÂËϵͳ

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4.3 ÂÌÉ«»·±£Éè¼Æ

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